وصف المنتجات
يتم إنتاج أهداف ألومنيوم على صهارة السيليكون عن طريق تقنية الذوبان، التي تستخدم عادة في تطبيقات IC. ومن خلال إضافة كمية صغيرة من السيليكون والمعادن النحاسية، يمكن تحسين التشهير الكهربائي وتشويه الأجزاء المصنوعة من الألومنيوم إلى الرقاقة بفعالية، كما يمكن رفع فترة الخدمة إلى حد كبير. تم اعتماد أهداف التفرغ النحاسي المصنوعة من السيليكون الألومنيوم في ماكينات السحب باستخدام النحاس ذو السحب المنخفض للغاية (ULVAC) وANEALVA وVARIAN. مع درجة نقاء تصل إلى 4 نيوتن وحجم حبيبات موحد ومحتوى أكسجين أقل، يمكن للمستخدم النهائي الحصول على معدلات تآكل ثابتة بالإضافة إلى طبقة رقيقة عالية النقاء ومتجانسة أثناء عملية PVD.
الميزات
التركيب الكيميائي: AlSi 99/1wt%، AlSiCu 98.5/1/0.5wt%، AlSi 90/10wt%، AlSi75/25wt%، AlSi50/50%، AlSi25/75wt%، يمكن تخصيص تكوين آخر
فصل الوزن: +/-0.2wt%
Purity (نقاء) متوفر: 3N, 4N (ثلاثي N)
تكنولوجيا الإنتاج: الذوبان
الأشكال: أهداف التخطيط
متوسط حجم الحبوب: < 300 um، يمكن تخصيص بنية الحبوب الدقيقة
عملية الإنتاج