El nombre del producto | Trifluoruro de nitrógeno la NF3 |
Fórmula química | La NF3 |
Clase de peligro | 2.2 |
Peso molecular | 71.002 |
Punto de ebullición (ºC) | -129.05 |
CAS | 7783-54-2 |
La densidad (kg/m³) | 3.015 |
Proceso: |
Trifluoruro de nitrógeno es preparado por la fluoración de amoníaco. También puede ser obtenida por la electrólisis del amonio bifluoride fundido o por combinación de los elementos del nitrógeno y el flúor el uso de una descarga eléctrica a bajas temperaturas. |
Especificación: |
Cilindro: 44L Válvula: CGA640 Contenido:20kg.
Cilindro: 440L Válvula: CGA640 Contenido:200 kg. La norma ISO-20 M Válvula: CGA640 Contenido:4000kg. La norma ISO-40 M Válvula: CGA640 Contenido:8000kg. |
Aplicación: |
Trifluoruro de nitrógeno se usa |
1. como una alta velocidad, selectivo etchant en silicon procesamiento. Se ha utilizado a etch de silicio, de polisilicio, el nitruro de silicio y óxido de silicio, así como los metales refractarios y silicides |
2. Para la limpieza del tubo de in-situ |
3. como una fuente de nitrógeno gas para la deposición de nitruro de |
4. como fuente de flúor en el HF/DF láseres de química |
5. como un agente fluorar |
Para el tratamiento de fibra 6. |
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