Las impurezas | La NF3 ≥ 99, 995% | La NF3 ≥ 99, 99%. | La NF3 ≥ 99, 98% | La NF3 ≥ 99, 9% |
CF4 | ≤20 ppm de vol. | ≤40 ppm de vol. | ≤100 ppm de vol. | ≤ 500 ppm de vol. |
N2 | ≤5 ppm de vol. | ≤5 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. | ≤50 ppm de vol. |
S2+ar | ≤3 ppm de vol. | ≤5 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. | ≤50 ppm de vol. |
El CO2 | ≤1 ppm de vol. | ≤5 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. |
H2O. | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. |
HF | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. | ≤1 ppm de vol. |
El SF6 | ≤1 ppm de vol. | ≤2 ppm de vol. | ≤2 ppm de vol. | ≤25 ppm de vol. |
N2O. | ≤1 ppm de vol. | ≤5 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. |
CO | ≤ 0, 5 ppm de vol. | ≤5 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. | ≤10 ppm de vol. |